| 
Лазерный рефлектометрический метод измерения толщины и оптических характеристик тонких пленок в процессе их роста
| Авторы: Белов М.Л., Белов А.М., Городничев В.А., Козинцев В.И., Федотов Ю.В. | Опубликовано: 30.08.2013 |
| Опубликовано в выпуске: #2(83)/2011 | |
| DOI: | |
| Раздел: Лазерные и оптико-электронные системы | |
| Ключевые слова: тонкая пленка, рост, толщина, оптические характеристики, лазерная рефлектометрия | |
Описан метод лазерной рефлектометрии, позволяющий проводить in-situ измерения толщины и показателей преломления и поглощения тонких пленок в процессе их роста. Метод основан на измерении коэффициентов отражения системы воздух (вакуум)–пленка-подложка. Для численного решения использован генетический алгоритм поиска минимума функции нескольких переменных. Приведены результаты математического моделирования, показывающие работоспособность метода.
