|

Современный интерференционный эллипсометр

Авторы: Лысенко Г.А., Печкин Д.Ю., Погодаев В.В. Опубликовано: 13.04.2015
Опубликовано в выпуске: #3(35)/1999  
DOI:

 
Раздел: Лазерные и оптико-электронные системы  
Ключевые слова:

Предложена структурная схема современного интерференционного эллипсометра. Проведен анализ составляющих погрешности измерения разности фаз между интерференционными сигналами и получены зависимости, позволяющие: вычислить погрешность при заданных технических характеристиках и режиме работы узлов эллипсометра; оптимизировать режим работы узлов эллипсометра с целью достижения минимальной погрешности; определить требуемые технические характеристики и режим работы узлов эллипсометра для достижения заданной погрешности. Приведены результаты экспериментов, подтверждающие полученные зависимости.