Интерферометрический метод контроля формы асферических поверхностей качения прецизионных подшипников

Рассмотрены принципиальные схемы измерительной ветви лазерного интерферометра для контроля формы конических, цилиндрических и торических поверхностей качения деталей прецизионных подшипников. Приведены основные геометрические соотношения схем и методы проведения измерений, а также результаты экспериментальной проверки схемы базовой измерительной ветви. Точность контроля формы асферических поверхностей составляет 0,05...0,1 мкм в зависимости от параметров поверхности.