| 
Все статьи автора "Макарчук В.В."
Исследование характеристик альтернативных источников энергии для интеллектуальных устройств
| Авторы: Зинченко Л.А., Макарчук В.В., Маслов А.Е. | Опубликовано: 12.10.2016 |
| Опубликовано в выпуске: #5(110)/2016 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2016-5-51-60 | |
| Раздел: Информатика, вычислительная техника и управление | Рубрика: Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления | |
| Ключевые слова: интеллектуальные среды, распределенные микроэлектромеханические системы, пьезоэлектрический эффект, метод конечных элементов | |
Полиномиальная модель химико-механической планаризации в производстве субмикронных СБИС
| Авторы: Амирханов А.В., Гладких А.А., Макарчук В.В., Пшенников А.Г., Шахнов В.А. | Опубликовано: 09.09.2013 |
| Опубликовано в выпуске: #2(87)/2012 | |
| DOI: | |
| Раздел: Конструирование и технология | |
| Ключевые слова: химико-механическая планаризация, кристалл, межслойная изоляция, многоуровневая металлизация, длина планаризации, выход годных, СБИС, топология, свертка, полином | |