| 
Поиск по ключевому слову "рефлектометрия"
Оценка погрешностей измерения толщин многослойных пленочных покрытий методом спектральной рефлектометрии
| Авторы: Цепулин В.Г., Толстогузов В.Л., Степанов Р.О., Карасик В.Е. | Опубликовано: 28.05.2017 |
| Опубликовано в выпуске: #3(114)/2017 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2017-3-4-12 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Методы и приборы контроля и диагностики материалов, веществ и природной среды | |
| Ключевые слова: многослойные пленочные структуры, рефлектометрия, профи-лометрия, тонкие пленки, погрешность измерения толщин | |
Измерение распределения толщин многослойных пленочных структур методами спектральной рефлектометрии
| Авторы: Цепулин В.Г., Толстогузов В.Л., Карасик В.Е., Перчик А.В., Арефьев А.П. | Опубликовано: 15.06.2016 |
| Опубликовано в выпуске: #3(108)/2016 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2016-3-3-12 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Приборы и методы измерения | |
| Ключевые слова: многослойные пленочные структуры, рефлектометрия, профилометрия, акусто-оптический фильтр, тонкие пленки | |