| 
Поиск по ключевому слову "плазмоника"
Плазмохимическое травление тонких пленок серебра для приложений плазмоники индуктивно-связанной аргоновой плазмой
| Авторы: Филиппов И.А., Великовский Л.Э., Шахнов В.А. | Опубликовано: 22.12.2020 |
| Опубликовано в выпуске: #4(133)/2020 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2020-4-165-180 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Вакуумная и плазменная электроника | |
| Ключевые слова: фотоника, плазмоника, плазмохимическое травление, технология, моделирование | |
Получение пленок серебра методом электронно-лучевого испарения для применения в наноплазмонике
| Авторы: Бабурин А.С., Габидуллин А.Р., Зверев А.В., Родионов И.А., Рыжиков И.А., Панфилов Ю.В. | Опубликовано: 06.12.2016 |
| Опубликовано в выпуске: #6(111)/2016 | |
| DOI: 10.18698/0236-3933-2016-6-4-14 | |
| Раздел: Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы | Рубрика: Проектирование и технология приборостроения и радиоэлектронной аппаратуры | |
| Ключевые слова: серебряная тонкая пленка, монокристалл, плазмоника, модели роста, электронно-лучевое испарение | |