| 
Поиск по ключевому слову "двойной фотошаблон"
Алгоритмы трансформации топологии субмикронных сверхбольших интегральных схем
| Авторы: Шахнов В.А., Зинченко Л.А., Резчикова Е.В., Аверьянихин А.Е. | Опубликовано: 30.08.2013 |
| Опубликовано в выпуске: #1(82)/2011 | |
| DOI: | |
| Раздел: Конструирование и технология | |
| Ключевые слова: топология, СБИС, двойной фотошаблон | |