3 / 12
вого электронного микроскопа (РЭМ) с энергодисперсионным рентге-
новским микроанализатором. Микроскоп позволяет получать изобра-
жение объектов в рассеянных электронах без специальной подготовки
поверхности при увеличениях до
×
300 000 и сведения об элемент-
ном составе с № 4 Be по № 92 U периодической системы по анализу
спектров характеристического рентгеновского излучения поверхности
материалов с локальностью до 1
×
1 мкм
2
.
На РЭМ-изображениях (рис. 2,
а, б
) видно, что налет представля-
ет собой гранулированный порошок с характерным размером зерен
0,5. . . 1 мкм. Большая часть зерен имеет признаки слегка вытянутого
в одном направлении призматического кристаллического габитуса со
стертыми вершинами и ребрами. Встречаются также изометрические
зерна почти сферической формы и сильно вытянутые частицы длиной
до 4 мкм (рис. 2,
в
).
Микрорентгеноспектральный анализ участка с порошком (рис. 3)
с использованием энергодисперсионного рентгеновского микроанали-
затора РЭМ показал присутствие углерода (до 71 ат. %), а также азота,
титана, кислорода, фтора, кремния. При этом надо учитывать, что
в область анализа попадает не только налет на поверхности, но и
подложка, покрытая нитридом титана (TiN). Для сравнения проведен
микрорентгеноспектральный анализ подложки — чистого участка (без
порошка) дна канавки. Данные анализа показывают присутствие азо-
та и титана в пропорциях, соответствующих покрытию TiN, а также
углерода и кислорода, возможно, находящихся на поверхности в виде
мономолекулярной пленки.
Для исключения влияния подложки на результаты анализа произве-
ден соскоб налета с полусферы ГДО на кремниевую пластину (рис. 4).
Микроанализ соскоба показал присутствие углерода (до 82 ат. %) и
кислорода (до 18 ат. %) (рис. 5). Измерения в разных областях соскоба
выявили также присутствие кремния, фтора, алюминия, титана.
Анализ чистой кремниевой пластины выявил присутствие помимо
кремния (96 ат. %), малого количества углерода, кислорода и алюми-
ния.
Полученные результаты показывают, что загрязнение, обнаружен-
ное на рабочих поверхностях ГДО и представляющее собой мелко-
дисперсный порошок, свободно лежащий на поверхности, в основном
состоит из конгломератов неструктурированного углеродсодержаще-
го материала. Присутствие фтора в некоторых анализах объясняется
остатками фторсодержащей промывочной жидкости (хладон). Присут-
ствие кремния и алюминия в соскобах порошка на кремниевую пла-
стину, наиболее вероятно, связано с наличием указанных элементов в
составе самой пластины.
ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 6 93