Экспериментальное исследование силовых характеристик рабочего элемента тепловых микроактюаторов | Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана
|

Экспериментальное исследование силовых характеристик рабочего элемента тепловых микроактюаторов

Авторы: Козлов Д.В., Смирнов И.П., Жуков А.А., Шахнов В.А. Опубликовано: 30.08.2013
Опубликовано в выпуске: #2(83)/2011  
DOI:

 
Раздел: Конструирование и технология  
Ключевые слова: тепловой микроактюатор, нагрузка, сила, кремний, полиимид, деформация

Рассмотрена методика измерения силовых характеристик балок тепловых микроактюаторов, подвергаемых воздействию контролируемой нагрузки. Методика реализована с использованием высокоточных прецизионных весов и гониометра. Проведены серии испытаний и экспериментально получены максимальные значения нагрузок, возникающих на хвостовике балки теплового микроактюатора. Исследованы зависимости силовых характеристик от толщины напыленного слоя металла и толщины полиимида в канавке микроактюатора, а также деградация силовых характеристик при многоцикловом изгибе тепловых микроактюаторов с контролируемым содержанием нанотрубок и без них.