4 / 10
Рис. 3. Эскиз измерения на ИК-спектральном эллипсометре
для измерения четыре точки: одну в центре и три равноудалeнные от
центра пластины.
Построение эллипсометрических моделей выполнялось в про-
граммной среде WVASE32 [12], с помощью которой проводят об-
работку измерений эллипсометра IR-VASE. Оптические константы
(
n
и
k
) резиста Ultra-i 123-0.35 были построены на базе формулы
Коши и осциллятора Лоренца.
Формула Коши применяется для непоглощающих или слабо погло-
щающих материалов [13], каковым и является резист Ultra-i 123-0.35
в ИК-диапазоне длин волн:
n
(
λ
) =
A
+
B
λ
2
+
C
λ
4
,
(1)
k
(
λ
) =
αe
β
12400
1
λ
−
1
Υ
,
(2)
где
A
,
B
и
С
— некоторые неизвестные константы, подлежащие опре-
делению;
α
— амплитуда показателя затухания;
β
— показатель экспо-
ненты;
γ
— коэффициент, определяющий край поглощения.
Осциллятор Лоренца применяется для описания электронных, мо-
лекулярных и других колебаний в материале. Он определяется следу-
ющей формулой [14]:
ε
(
hν
) =
ε
1
+
iε
2
=
ε
1
∞
+
X
k
A
k
B
k
E
k
E
2
k
−
(
hν
)
2
−
iB
k
∙
hν
,
(3)
где
A
k
— амплитуда
k-
го осциллятора (безразмерная величина);
E
k
—
центральная энергия (см
−
1
), а
В
k
— ширина осциллятора (см
−
1
).
Результаты исследований.
В результате измерений методом
ИК-спектральной эллипсометрии были получены экспериментальные
спектры эллипсометрических параметров
Ψ
и
Δ
всех нанесенных
образцов (всего 96 спектров: 6 образцов, 4 точки на образце, пара-
метры
Ψ
и
Δ
, углы падения
50
◦
и
70
◦
). Данные спектры
Ψ
и
Δ
для
центральной точки образца, полученного при скорости вращения цен-
трифуги 5000 об/мин, приведены на рис. 4. После чего были построены
128 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 6