Исследование характеристик и методов нанесения резиста с применением ИК-спектральной эллипсометрии

8 / 10

7. Исследование физико-химических свойств поверхности политетрафторэтилена
методом ИК-спектроэллипсометрии / М.О. Макеев, Ю.А. Иванов, С.А. Мешков,
А.Б. Гильман, М.Ю. Яблоков // Нанотехника. 2011. № 3. C. 27–32.
8. Исследование металлоорганических гетероструктур методами широкопо-
лосной ИК эллипсометрии-спектроскопии / М.О. Макеев, Ю.А. Иванов,
Н.А. Ветрова, С.А. Козубняк // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер.
Приборостроение. Спец. вып. “Наноинженерия”. 2010. С. 80–91. URL:
9. Исследование деградационных явлений в наноразмерных AlAs/GaAs гетеро-
структурах методом ИК-спектроэллипсометрии // Наноинженерия. 2011. № 10.
С. 44–48.
10. Макеев М.О., Иванов Ю.А., Мешков С.А. Исследования термической деградации
резонансно-туннельных диодов на базе AlAs/GaAs наногетероструктур // Нано-
и микросистемная техника. 2014. № 12. С. 23–29.
11. Исследования деградации резонансно-туннельных диодов на базе AlAs/GaAs
наногетероструктур / М.О. Макеев, Ю.А. Иванов, С.А. Мешков, Ю.Н. Литвак,
Н.А. Ветрова // Инженерный журнал: наука и инновации. 2013. № 6 (18). URL:
12. IR-VASE User’s Manual / J.A. Woollam Co., Inc., 2006.
13. Handbook of ellipsometry / Ed. by H.G. Tompkins, E.A. Irene. William Andrew
Publishing, Springer, 2005. 870 p.
14. Wooten F. Optical Properties of Solids. N.Y.: Academic Press, 1972.
15. Palik E.D. Handbook of optical constants of solids. Vol. 1. N.Y.: Academic Press,
1985. 785 р.
16. Weber M.J. Handbook of Optical Materials. CRC Press, 2002. 536 p.
17. SEMI MF1618-1110 — Practice for Determination of Uniformity of Thin Films on
Silicon Wafers, 2004.
18. Родионов И.А. Разработка литографических процессов изготовления СБИС
с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения.
Дисс. . . . канд. техн. наук. М.: МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010.
REFERENCES
[1] Moreau Wayne M. Semiconductor Lithography: Principles, Practices, and Materials.
Springer; Softcover reprint of the original 1st ed., 1988.
[2] Hilfiker J., Bungay C., Synowicki R., Tiwald T., Herzinger C., Johs B., Pribil G.,
Woollam J.A. Progress in Spectroscopic Ellipsometry: Applications from Vacuum
Ultraviolet to Infrared. J. Vac. Sci. Technol. A., 2003, vol. 21, iss. 4, pp. 1103–1108.
[3] Hilfiker J., Singh N., Tiwald T., Convey D., Smith S.M., Baker J.H., Tompkins H.G.
Survey of Methods to Characterize Thin Absorbing Films with Spectroscopic
Ellipsometry. Thin Solid Films, 2008, no. 516, pp. 7979–7989.
[4] Tompkins H.G., Tiwald T., Bungay C., Hooper A.E. Use of Molecular Vibrations
to Analyze Very Thin Films with Infrared Ellipsometry. J. Phys. Chem. B., 2004,
vol. 108, iss. 12, pp. 3777–3780.
[5] Makeev M.O., Zhukova E.A. Study of diamond-like coatings by IR-
spectral ellipsometry and Raman spectroscopy. Nauka i obrazovanie. MGTU
im. N.E. Baumana [Science & Education of the Bauman MSTU. Electronic Journal],
2013, no. 7, pp. 229–240. Available at:
[6] Makeev M.O., Ivanov Yu.A., Meshkov S.A., Gil’man A.B., Yablokov .
Application of IR ellipsometry to determination of the film thickness of a
polytetrafluoroethylene sample modified in direct-current discharge. High Energy
Chemistry, 2011, vol. 45, no. 6, pp. 536–538.
132 ISSN 0236-3933. Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. “Приборостроение”. 2015. № 6